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XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm
XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm
XP-780系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動，實現X軸200μm的位移，可以配置閉環傳感實現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉接的方式實現二維、三維運動。
產品特點
一維X向運動
行程可達200μm
承載可達5kg
通孔尺寸：25×25mm
閉環重復定位精度高
開/閉環可選
真空版本可選
